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東莞市夏陽新材料有限公司

2025年5月8日 星期四 14時(shí)08分37秒

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heng
描述
半導(dǎo)體設(shè)備
陶瓷機(jī)械手臂
陶瓷機(jī)械手臂又稱、陶瓷機(jī)械手指、晶圓托盤、晶圓機(jī)械手臂等,主要在半導(dǎo)體設(shè)備中起到輸送搬運(yùn)的作用，它相當(dāng)于半導(dǎo)體設(shè)備這個(gè)機(jī)器人的手，負(fù)責(zé)搬運(yùn)晶圓硅晶片到指定位置。

   產(chǎn)品特點(diǎn)

  1. 產(chǎn)品精度高

  2. 氣密性好

  3. 耐高溫性好

  4. 表面電阻率可控

  5. 耐酸堿、抗腐蝕能力強(qiáng)，能適應(yīng)極度惡劣


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描述


產(chǎn)品性能單位參數(shù)
電阻率Ω碳化硅1x105
氧化鋁1x1014
最高使用溫度℃分體式手臂350
一體式手臂800
吸附面光潔度Ra0.01
吸附面平面度m m0.01內(nèi)


▲ 自密性檢測(cè):關(guān)閉真空氣源，負(fù)壓-85Kpa到-80Kpa，時(shí)長(zhǎng)達(dá)60s以上
▲ 晶圓吸附檢測(cè):關(guān)閉真空氣源，負(fù)壓-80Kpa到-25Kpa，時(shí)長(zhǎng)達(dá)35s以上